光電子制御プラズマCVD装置が立ち上がりました

2023年10月15日

本年6月に装置を移設して以来、装置の立ち上げ作業を進めていましたがついに光電子制御プラズマCVD装置が立ち上がり、プラズマ生成を行うことができました。今後は光電子制御プラズマを用いた様々なプロセスに関する研究を進めていきます。

移設のために分解した光電子制御プラズマCVD装置ですが、ついに組み上がりました。
無事に真空引きまで到達したことを記念して、作業してくれた学生たちと記念撮影。学生の皆さんは初めての真空装置組み立てにもかかわらず大きな漏れはありませんでした。素晴らしい！
生成した光電子制御Arプラズマ。4インチの基板表面に均一な紫色のプラズマが生成されています。このプラズマを用いた研究を進めていきます。
こちらはUPS、XPS測定ができる複合表面反応解析装置です。真空引きまで終わりましたが測定まではもう一歩です。こちらも早期の立ち上げを目指します。